智能程控勻膠機(jī) 型號(hào)：SC-100A

智能化設(shè)計(jì)、高配置、高穩(wěn)定性機(jī)型。 
  PC控制系統(tǒng)，更好的可操控性可編程設(shè)計(jì)。 
  5“人機(jī)界面，全中文操作系統(tǒng)，更方便操作。 
  適合多種材料勻膠、制版工藝。   
廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、材料科學(xué)及新能源等領(lǐng)域 
  采用無(wú)刷伺服電機(jī)，全閉環(huán)數(shù)字編碼器測(cè)速機(jī)構(gòu)，實(shí)測(cè)整個(gè)過(guò)程馬達(dá)速度。 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。 
  排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出有效隔有毒氣味的散發(fā)。 
  配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口，由界面集中控制。 
  旋涂程序：用戶(hù)可通過(guò)PC界面設(shè)置和存儲(chǔ)工藝參數(shù)，可存儲(chǔ)15組參數(shù)，支持多段速。 
  轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm 
  旋涂加速度：0-5000rpm/sec，加、減速時(shí)間可自由設(shè)置（0-20000ms） 
  轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度  ±1rpm 
  測(cè)速精度<0.2rpm 
  工藝時(shí)間設(shè)定： 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度 
  可鍍膜尺寸5mm-200mm(8〞) 
  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3%                                                          
  支持基片厚度≤5mm 
  勻膠腔室內(nèi)徑：Ф260mm ，不銹鋼材質(zhì)、可視透明上蓋 
  抽氣接口: Ф8mm快速接頭，配Ф8mm透明抽氣管 
  樣片托：根據(jù)實(shí)際尺寸定制。 
  真空泵：配100L/min無(wú)油真空泵一臺(tái) 
  電源輸入： AC220V/240V 50HZ  
  整機(jī)功率：630W （真空泵230W  主機(jī)400W） 
  機(jī)身重量：11Kg   
  真空泵重：6.0Kg  
  設(shè)備尺寸：280×360×240mm